Please use this identifier to cite or link to this item: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/86578
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Investigation of the Structural, Electrical and Corrosion Properties of NbN Films Deposited by Magnetron Sputtering (DC Power Supply) Technique at Different Power
Other Titles Дослідження структурних, електричних та корозійних властивостей плівок NbN, нанесених методом магнетронного напилення (живлення постійним струмом) при різних потужностях
Authors Abdallah, B.
Kakhia, M.
Alssadat, W.
Zetoune, W.
Keywords плівка NbN
вплив потужності
структурний
корозія
електричні характеристики
NbN film
power effect
structural
corrosion
electrical characterization
Type Article
Date of Issue 2021
URI https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/86578
Publisher Sumy State University
License In Copyright
Citation B. Abdallah, M. Kakhia, W. Alssadat, W. Zetoune, J. Nano- Electron. Phys. 13 No 6, 06032 (2021). DOI: https://doi.org/10.21272/jnep.13(6).06032
Abstract В статті вивчено нанесення тонких плівок нітриду ніобію (NbN) на підкладки з нержавіючої сталі (SS304) і кремнію (100) за допомогою методу магнетронного розпилення при постійному струмі та різних потужностях від 100 до 150 Вт. Структура плівки аналізується за допомогою рентгенівської дифракції (XRD); дифракційні картини показують, що плівки мають переважну орієнтацію (111), що відповідає фазі кубічної структури. Для дослідження складу підготовлених плівок використовуються метод пружного зворотного розсіювання Резерфорда (RBS) та енергодисперсійне рентгенівське випромінювання (EDX). Морфологія поверхні плівок досліджується за допомогою зображень, отриманих скануючою електронною мікроскопією (SEM) та атомно-силовою мікроскопією (AFM). Зображення AFM уточнюють зміни морфології, особливо шорсткість залежно від потужності; отримано, що шорсткість зменшується зі збільшенням товщини плівки, а також потужності. Показники корозії та мікротвердості плівок пов'язані та приписуються кристалічності зразків, яка змінюється залежно від потужності. Корозійна стійкість плівок NbN на підкладках з SS304 підвищується. Ці привабливі результати можуть дозволити використання отриманих плівок в області медичних інструментів або обладнання (еквівалент сольової сироватки). Електричні вимірювання (C-V та I-V) плівок, нанесених при потужності 100 Вт, підтверджують потенційне електричне застосування плівок NbN, нанесених методом розпилення при постійному струмі.
This study aims to deposit niobium nitride (NbN) thin films on stainless steel (SS304) and silicon (100) substrates using direct current (DC) magnetron sputtering method at different power (varied from 100 to 150 W). The film structure is analyzed by X-ray diffraction (XRD); the patterns show that the films possess a (111) preferred orientation, corresponding to the cubic structure phase. Rutherford elastic backscattering (RBS) and energy dispersive X-ray (EDX) are used to investigate the composition of the prepared films. Surface morphology of the films is explored by scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) images. AFM images clarify modifications of the morphology, especially roughness versus increased power, where roughness decreased with increasing thickness as well as power. Corrosion and microhardness performances of the films are related and assigned to the crystallinity of samples, which varies with power. Corrosion resistance of NbN films associated with SS304 substrates is improved. These attractive results may allow to use our films in the field of medical tools or equipment (equivalent to saline serum media). Electrical measurements (C-V and I-V) of films deposited at a power of 100 W confirm the potential electrical applications of NbN films deposited by DC sputtering method.
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Bulgaria Bulgaria
1
China China
1
Finland Finland
185
France France
33765
Germany Germany
2911
Greece Greece
970
India India
1
Iraq Iraq
1
Italy Italy
1
Japan Japan
1
Lithuania Lithuania
1
South Korea South Korea
1
Spain Spain
187
Taiwan Taiwan
5823
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
33767
Unknown Country Unknown Country
33761
Vietnam Vietnam
972

Downloads

France France
33766
Germany Germany
22702
Japan Japan
1
Lithuania Lithuania
1
Singapore Singapore
585
Spain Spain
1
Ukraine Ukraine
1
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
112351
Vietnam Vietnam
1

Files

File Size Format Downloads
Abdallah_jnep_6_2021.pdf 495,68 kB Adobe PDF 169410

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.