Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270
Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item
Title Эффективность ввода мощности в индуктивный ВЧ-источник ионов
Authors Возный, В.И.
ORCID
Keywords іонний пучок
плазма
густина струму
ионный пучок
плазма
плотность тока
ion beam
plasma
current density
Type Article
Date of Issue 2010
URI http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270
Publisher Изд-во СумГУ
License
Citation Возный, В.И. Эффективность ввода мощности в индуктивный ВЧ-источник ионов [Текст] / В.И. Возный // Журнал нано- та електронної фізики. — 2010. — Т. 2, № 2. — С.25-34.
Abstract Досліджувалося високочастотне індуктивне іонне джерело без магнітного поля, що працює на частоті 27,12 МГц. Діаметр розрядної камери джерела дорівнює 3 см, довжина – 8 см. Вимірювалися зовнішні електричні параметри джерела, такі як антенний струм і напруга на антені, в діапазоні ВЧ-потужності 10÷400 Вт і тиску газу (аргон) 0,1÷1 Па. Використовуючи трансформаторну модель індуктивного ВЧ-розряду, визначено ефективність введення ВЧ-потужності в плазму іонного джерела. При тиску аргону 0,5 Па і ВЧ-потужності в інтервалі 50÷400 Вт в плазму вводиться близько 75 % потужності. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9270
Appears in Collections: Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)

Views

Azerbaijan Azerbaijan
1
Belgium Belgium
1
Canada Canada
1
China China
3
France France
1
Germany Germany
322
Greece Greece
1
Iran Iran
1
Ireland Ireland
216881
Italy Italy
1
Lithuania Lithuania
1
Mexico Mexico
1
Netherlands Netherlands
3
Russia Russia
24
Singapore Singapore
1
Sweden Sweden
1
Turkey Turkey
3
Ukraine Ukraine
11887221
United Kingdom United Kingdom
5240949
United States United States
268334695
Unknown Country Unknown Country
11887220

Downloads

China China
7
Germany Germany
323
Iran Iran
1
Lithuania Lithuania
1
Russia Russia
6
Singapore Singapore
1
Ukraine Ukraine
34473595
United Kingdom United Kingdom
1
United States United States
268334686
Unknown Country Unknown Country
302

Files

File Size Format Downloads
Voznyi.pdf 234.54 kB Adobe PDF 302808923

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.