Высокочастотный мультикасповый источник ионов

Возный, В.И.; Мирошниченко, В.И.; Мордик, С.Н.; Сторижко, В.Е.; Шульга, Д.П.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9550

Or use following links to share this resource in social networks: Recommend this item

Title	Высокочастотный мультикасповый источник ионов
Authors	Возный, В.И. Мирошниченко, В.И. Мордик, С.Н. Сторижко, В.Е. Шульга, Д.П.
ORCID
Keywords	источники ионов
Type	Article
Date of Issue	2008
URI	http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9550
Publisher	Изд-во СумГУ
License
Citation	Возный, В.И. Высокочастотный мультикасповый источник ионов [Текст] / В.И. Возный, В.И. Мирошниченко, С.Н. Мордик, В.Е. Сторожко, Д.П. Шульга // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №1. — С. 28-32.
Abstract	Разработан высокочастотный мультикасповый ионный источник диаметром 4,7 см и длиной 8 см для генерации ионных пучков с малым энергетическим разбросом. В статье представлена конструкция источника и приведены результаты измерения извлекаемого ионного тока. Плотность ионного тока аргонового пучка равна 55 мА/см2 при 213 Вт ВЧ-мощности. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9550 A radio-frequency multicusp ion source in diameter of 4.7 cm and length 8 cm is developed for generation of ion beams with small energy spread. The source design and ion current measurements are presented in the article. The current density of argon ion beam is equal to 55 ìÀ/ñm2 at 213 W of RF power. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9550
Appears in Collections:	Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics)