Please use this identifier to cite or link to this item:
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559
Or use following links to share this resource in social networks:
Tweet
Recommend this item
Title | Измерение аксиального энергетического разброса высокочастотного мультикаспового источника ионов |
Authors |
Возный, В.И.
|
ORCID | |
Keywords | |
Type | Article |
Date of Issue | 2008 |
URI | http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559 |
Publisher | Изд-во СумГУ |
License | |
Citation | Возный, В.И. Измерение аксиального энергетического разброса высокочастотного мультикаспового источника ионов [Текст] / В.И. Возный // Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. — 2008. — №1. — С. 136-143. |
Abstract |
Представлены результаты измерения аксиального энергетического разброса высокочастотного мультикаспового источника ионов, работающего на частоте 27,12 МГц. Измерены функции распределения ионов по энергии гелиевого и аргонового пучков при изменении высокочастотной мощности в пределах 50-300 Вт с помощью сеточного энергоанализатора методом задерживающего потенциала. Определены средняя энергия и энергетический разброс ионов гелия и аргона. Установлено, что минимальный энергетический разброс ионов гелия равен 7±1 эВ при 150 Вт ВЧ мощности
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559 The results of axial energy spread measurements of a 27.12 MHz radio-frequency multicusp ion source are presented. Ion energy distribution functions of extracted helium and argon ion beams have been measured by use of retarding field energy analyzer for 50-300 W of radio-frequency power. Average energy and energy spread of helium and argon ions have been determined. It was found that minimal ion energy spread of helium beam is equal to 7±1 eV at 150 W of radio-frequency power. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9559 |
Appears in Collections: |
Журнал нано- та електронної фізики (Journal of nano- and electronic physics) |
Views
![Belarus](/flags/by.gif)
2
![China](/flags/cn.gif)
4
![France](/flags/fr.gif)
1
![Germany](/flags/de.gif)
318
![Greece](/flags/gr.gif)
1
![Iceland](/flags/is.gif)
3
![Iran](/flags/ir.gif)
1
![Ireland](/flags/ie.gif)
67233
![Italy](/flags/it.gif)
1
![Kazakhstan](/flags/kz.gif)
1
![Lithuania](/flags/lt.gif)
1
![Romania](/flags/ro.gif)
1
![Russia](/flags/ru.gif)
33
![Singapore](/flags/sg.gif)
9255288
![Turkey](/flags/tr.gif)
3
![Ukraine](/flags/ua.gif)
425794
![United Kingdom](/flags/gb.gif)
217702
![United States](/flags/us.gif)
18507367
![Unknown Country](/flags/--.gif)
425793
![Venezuela](/flags/ve.gif)
1
Downloads
![Belarus](/flags/by.gif)
3216
![China](/flags/cn.gif)
3
![Germany](/flags/de.gif)
319
![Iceland](/flags/is.gif)
3
![Lithuania](/flags/lt.gif)
1
![Russia](/flags/ru.gif)
7
![Ukraine](/flags/ua.gif)
1274566
![United Kingdom](/flags/gb.gif)
1
![United States](/flags/us.gif)
8115186
![Unknown Country](/flags/--.gif)
124
Files
File | Size | Format | Downloads |
---|---|---|---|
Voznyi1.pdf | 380,92 kB | Adobe PDF | 9393426 |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.