Browsing by Keywords PECVD


Showing results 1 to 9 of 9
Issue Year Title Author(s) Type Views Downloads
2013 Effect of Added Nitrogen on Properties of SiCN Films Prepared by PECVD Using Hexamethyldisilazane Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, L.A.; Ivashchenko, V.I.; Tomila, T.V. Conference Papers 19571 21895
2014 Effect of Substrate Temperature on the Properties of PECVD SiCN Films Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, V.I; Ivashchenkо, L.A.; Tomila, V. Article 1116518 120513
2013 Field Emission Behaviour of the Single Wall Carbon Nanotubes Grown by Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) System Kumar, Avshish; Parveen, Shama; Husain, Samina; Ali, Javid; Harsh, ; Husain, M. Article 274785 4947
2015 Hard Si-C-N Chemical Vapor Deposited Films Porada, O.K.; Kozak, A.O.; Ivashchenko, V.I.; Dub, S.M.; Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych Conference Papers 20151 534
2018 Performance of p-i-n Hydrogenated Amorphous Silicon Thin Film Solar Cells Device Yanuar, H.; Lazuardi, U. Article 3978 123
2013 Strong Room-Temperature Photoluminescence of Si-rich and N-rich Silicon-Nitride Films Komarovy, F.F.; Vlasukova, L.A.; Parkhomenko, I.N.; Milchanin, O.V.; Mudryi, A.V.; Togambayeva, A.K.; Kovalchuk, N.S. Conference Papers 23440 5686
2015 Оптичні властивості плазмохімічних гідрогенізованих Si-C-N плівок Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Порада, О.К.; Іващенко, Л.А.; Малахов, В.Я.; Томіла, Т.В. Article 13058 7105
2014 Структурні, механічні і оптичні властивості плазмохімічних Si-C-N плівок Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Порада, О.К.; Іващенко, Л.А.; Томіла, Т.В. Article 5205 2388
2017 Фотолюмінісцентні властивості PECVD плівок на основі Si, C, N Порада, О.К.; Манжара, В.С.; Козак, А.О.; Іващенко, В.І.; Іващенко, Л.A. Article 1809 250